湿度传感器

湿度传感器是指检测外界环境湿度的传感器，它将所测环境湿度转换为便于处理、显示、记录的电(频率)信号等。它是一类重要的化学传感器，在仓贮、工业生产、过程控制、环境监测、家用电器、气象等方面有着广泛的应用。湿度传感器是由湿度敏感元件、变换元件和测量电路三部分组成。对于湿度传感器的敏感元件，常见的结构形式有三种:电容型、电阻型和电流型，分别通过检测电阻、电容和电流的变化来传感被测量。

作为理想湿敏元件应满足下列要求:

(1) 灵敏度高，感湿特性曲线的线性度好; (2) 量程宽，实用温度范围广，湿度温度系数小; (3) 湿滞小，响应时间短。 (4) 使用寿命长，长期稳定性好，耐水性好，抗污染能力强: (5) 能在有害气氛的恶劣环境中使用; (6) 感湿特征量应在易测范围以内: (7) 具有互换性，制造简单，价格低廉。

湿度传感器是现代传感技术发展方向之一。世界各国对湿度传感器的研究非常活跃，研究重点之一是开发新型湿度敏感元件，因为新型高灵敏度和适用范围广的湿度敏感元件是实现湿度传感器技术新突破的前提。而敏感元件的性能主要取决于两个重要因素，即构成元件的材料和制备元件的加工技术，因此应用新技术、新材料是研究开发新型湿度敏感元件的重要手段，也是设立本课题的着眼点所在。湿度敏感元件的性能除了由其功能材料决定以外，还与其加工工艺有关。将现代先进制造技术引入传感器技术，例如水热腐蚀制备纳米薄膜技术、钝化技术等，能制作出质地均匀、性能稳定、可靠性高、体积小、重量轻的敏感元件。近几年 ，以纳米多孔硅为感湿材料的湿度传感器开始在国际上受到关注，这是因为它初步显示出了一些优异的性能。