G-Cell传感单元
是由半导体材料经微机械加工艺生产的微机械结构，整个物理模型由一对挠性轴、其支撑的极板及中间极板上的检测质量块组成。
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词条内容仅供参考，如果您需要解决具体问题
（尤其在法律、医学等领域），建议您咨询相关领域专业人士。
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是由半导体材料经微机械加工艺生产的微机械结构，整个物理模型由一对挠性轴、其支撑的极板及中间极板上的检测质量块组成。
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