理解和应用微电子机械系统(MEMS)ADI

简介：MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。
如今，MEMS技术已经被广泛的应用到了各种领域，ADI公司提供了业内一流的测量加速度和角速度的MEMS芯片。
今天的研讨会，我们就来跟大家讨论一下MEMs的工作原理以及MEMs在医疗，消费类，汽车等领域的应用。

问：ADXL系列产品需要温度补偿处理吗？需要用户自己做吗？
答： ADXL产品没有温度补偿，如果需要补偿要用户自己做处理。ADIS系列有的产品有温度补偿。

问：在选择MEMS微机械角速率传感器时，最注重的指标应该是什么？
答： 要注意其在没有角速度时，输出应该为0，噪声密度，输出精度等

问：请举例说明在移动设备中的应用，是否只是起保护作用？
答： 不仅仅是保护作用，今天我们介绍的只是硬盘保护的一个应用，在移动设备中的应用是可以检测移动设备的运动状态，通过检测到的运动状态，可以衍生出各种应用

问：想在汽车轮胎防爆设计中，加入MEMS传感器，请专家给推荐一款产品，谢谢！
答： 应该选择压力传感器。ADI没有这类产品。ADXL78/278可以用作安全气囊应用。谢谢！

问：ADI MEMS芯片一般采用什么样的接口？怎么与微处理器进行连接？
答： MES一般有模拟接口，PWM接口，串行接口（SPI,I2C）等，可通过微处理器的ADC采样模拟值，用GPIO记录PWM波形，SPI和I2C总线访问MEMS，比如ADXL330就是模拟电压输出的，AD22340就是数字I2C或SPI输出的。

问：您所指的周期性的重置是什么意思？能否说的更具体一些？是在某种条件下将当前坐标设置成原点吗？
答： 就是在一定状态下吧速度或者加速度置0，这样可以重新开始积分，避免累积的误差过大。

问：转台在运动过程中旋转不断发生变化,但变化不很频繁,大约不到10hz,请问哪款旋转传感器比较合适?价格便宜点的
答： 你可以考虑使用我们ADXRS610,ADXRS612,614系列产品。

问：对于Tucheng问题的回答中的“周期性的重置”具体应该如何实现呢?根据加速度和速度的不变来判别吗？
答： 这取决于您应用中系统的振动状态，比如在运动状态中速度会归0，或者加速度会归0，在这种状态下都可以重置积分结果，重新开始，这样可以避免误差的累加，但是如果运动状态不会为0，目前还没有很好的积分的办法

问：如果需要对整个温度范围进行校准,采用ADIS16350是否合适?
答： ADIS16355内部有温度补偿，会更加合适！谢谢！

问：如何计算ADXRS150陀螺仪的自检测输出值?
答： 您好，ADXRS150有ST1和ST2分别产生+/-0.66V的输出变化。同时它还有continuous self test功能，您可以参考我们的应用笔记AN-768。