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问:微纳传感器微机械加工技术包括哪些?
答:(1)刻蚀技术 ①湿法刻蚀 ②干法刻蚀 ③多孔硅(porous Si) (2)LIGA技术 (3)硅片键合技术 (4)微封盖(micro capping)技术
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