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MEMS技术: 词条创建者:baikemm创建时间:08-01 14:07; 标签: MEMS技术，微型传感器，信号处理; 摘要:可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。[阅读全文]; 编辑:0次| 浏览:501次