摘要:可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。[阅读全文]

摘要:MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉[阅读全文]

摘要:RF MEMS     RF MEMS    RF 射频，Radio Frequency ，简称 RF 。射频就是射频 电流，它是[阅读全文]

摘要:MEMS传感器       MEMS传感器  MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems[阅读全文]

摘要:传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。 但是MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理不是这样的，因为要用微[阅读全文]

摘要:MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS技术的目标是[阅读全文]

摘要:采用微电子机械技术（MEMS）的光交换。这种光交换的结构实质上是一个二维易镜片阵，当进行光交换时，通过移动光纤末端或改变镜片角度，把光直接送到或反射到交换机的不同输出端。采用微电子机械系统技术可以在极小[阅读全文]